设计非常灵活，镜头和光源可以快速更换，先期匹配高分辨率i线光源，后期再匹配DUV镜头的KrF激光器，一举取得了先发优势。”

“在晶圆台研发上，PAS 5500也没有一开始就决定到底是使用H型晶圆台，还是长短冲程发动机。而是同样保留了两路适配架构，这是意义非常的方法。”

“PAS 5500这种模块化设计使得客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，可以涵盖了i线和KrF各种光源，4到12英寸各种晶圆尺寸，i线和KrF各种镜头，stepper和scanner各种投影模式。成了所有芯片制造商的梦中情机！”

“你的意思，是我们也要像三星和台积电那样，大量进口这款光刻机？PAS5500现在一台多少钱？”

“PAS5500现在的子型号太多，价格可以从500万美元到700万美元不等。”周至说道：“如果要兼顾我们产业在未来的发展我们需要配置适合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圆，光源和镜头适配465nm的G线，365nm的 i线和248nm的KrF三种光源的光刻机。”

“同时我们还得要求飞利浦公司按照对待台积电的标准，对我们开放MEGA生产线的技术学习。”周至说道：“为我们未来自主设计和生产做好准备。”

“三种晶圆，三种光源，三种镜头，组合一下，一样一套都是9套。”胡长风沉吟道：“你的意思我能够明白，我们家底薄，5英寸6英寸的生产线，不可能在引进完8英寸，未来还可能引进12英寸后就不用了，未来国内的中低端芯片，还得依靠中低端光刻机负责生产，起码二三十年都不会淘汰。不过你说的KrF光源，鬼子都没搞出来的东西，我们现在的能力，做得到吗？”

“没办法，总要自己做的，而且我们还必须尽快做。”周至说道：“随着国际局势的变化，瓦森纳协定就如悬在我们头顶的一把利剑，迟早会掉落下来的。我们必须在别人卡脖子之前，趁现在还有未关上的窗口，抓紧完成布局！”

“即便是现在，我们要ASML开放MEGA生产线，他们也不会乖乖听话吧？”胡长风说道：“即便是我们决定引进几条PAS5500。”

“或许也不是太难。”周至却露出了意味深长的微笑。

“哦？你小子是不是又有什么招数了？”胡长风问道。

“也算是运气吧。”周至笑道：“现在ASML的最大外部股东，是安盛基金，掌握着ASML百分之二十七的股份。”

“啊？什么时候的事情？这戏法又是怎么变出来的？”胡长风大吃一惊。

“ASML的发展也不是一帆风顺的，它也经历过好几次生死危机。”周至笑道：“ASML成立于19884年，尽管脱胎于飞利浦，但是在成立之后的10年间都不曾盈利，持股的飞利浦和ASM在前年都失去了信心，因为吃不消这无止境的烧钱，ASM把持有的股份都卖了，还是亏了3500万美元卖的。”

“正在信息产业领域寻找投资机会的安盛基金适时接手了，那一次，我们拿到了14%的股份。”

“ASML的第二次危机是来自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特绑定的，重大投资必须由两家公司一起做出决定，而蔡司当时处于亏损，完全依赖姐妹公司肖特输血。”(本章完)
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